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アイテム
ウェハ切削用高速度回転円形刃の偏芯量,摩耗量の一簡易測定法
https://lib.cku.repo.nii.ac.jp/records/225
https://lib.cku.repo.nii.ac.jp/records/22506b1104f-c235-44e9-98b5-597f98208c76
Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
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公開日 | 2016-09-23 | |||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||
タイトル | ウェハ切削用高速度回転円形刃の偏芯量,摩耗量の一簡易測定法 | |||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||
タイトル | A Simple measuring methode of the blade eccentricity and weare in a highspeed rotation for the wafer cutting | |||||||||||||
言語 | en | |||||||||||||
言語 | ||||||||||||||
言語 | jpn | |||||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
アクセス権 | ||||||||||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||
雑誌書誌ID | ||||||||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
収録物識別子 | AN00114608 | |||||||||||||
著者 |
玉置, 友一
× 玉置, 友一
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書誌情報 |
ja : 千葉経済大学短期大学部商経論集 en : JOURNAL OF CHIBA-KEIZAI COLLEGE ECONOMIC SCIENCE AND BUSINESS [SHOKEI RONSHU] 号 29, p. 109-123, 発行日 1996-03-01 |
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アクセション番号 | ||||||||||||||
内容記述 | KJ00000385706 |